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沈陽新松機器人自動化股份有限公司成功研制“300mmIC生產(chǎn)線自動物料搬運系統(tǒng)”，打破了國外集成電路裝備企業(yè)在國內(nèi)的壟斷地位。

日前，沈陽新松機器人自動化股份有限公司承擔的“300mmIC生產(chǎn)線自動物料搬運系統(tǒng)研發(fā)與應用”項目在沈陽通過了國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”（02專項）實施管理辦公室組織的驗收。

該項目由新松公司聯(lián)合中科院沈陽自動化所、上海集成電路研發(fā)中心有限公司等實力雄厚的研究院所、企業(yè)進行技術(shù)攻關，重點攻克在潔凈系統(tǒng)設計及優(yōu)化技術(shù)、無接觸供電技術(shù)、氣流分析技術(shù)、系統(tǒng)可靠性技術(shù)、物流調(diào)度分析等共性關鍵技術(shù)，完成了物料控制系統(tǒng)軟件、潔凈天車、天井式搬運車、潔凈立庫、潔凈有軌制導車輛及外接晶片裝載設備等核心設備的開發(fā)，并在上海集成電路研發(fā)中心有限公司完成了自動物料搬運系統(tǒng)的示范應用，實現(xiàn)了潔凈物料傳輸系統(tǒng)裝備的國產(chǎn)化，項目合同期內(nèi)完成了自動物料搬運生產(chǎn)線5條，實現(xiàn)銷售收入1.44億元。

該系統(tǒng)的研制成功不僅打破了國外集成電路裝備企業(yè)在國內(nèi)的壟斷地位，降低了晶圓制造企業(yè)生產(chǎn)成本，同時推動了我國集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并帶動整個裝備制造的產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，加速我國裝備制造業(yè)的轉(zhuǎn)型升級。

據(jù)悉，該項目資金總額為12,726萬元，按照中央：地方：企業(yè)＝1:1:1的要求，中央投入4,242萬元，地方配套資金4,242萬元，新松公司使用自籌資金4,242萬元。

下一步，新松公司將在三期產(chǎn)業(yè)園，新建超過6000平方米的潔凈車間，用于自動化物料搬運系統(tǒng)及其核心設備產(chǎn)品研發(fā)、測試和驗證，進一步提高潔凈產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化能力。