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沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司成功研制“300mmIC生產(chǎn)線自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)”，打破了國(guó)外集成電路裝備企業(yè)在國(guó)內(nèi)的壟斷地位。

日前，沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司承擔(dān)的“300mmIC生產(chǎn)線自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)研發(fā)與應(yīng)用”項(xiàng)目在沈陽(yáng)通過(guò)了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”（02專(zhuān)項(xiàng)）實(shí)施管理辦公室組織的驗(yàn)收。

該項(xiàng)目由新松公司聯(lián)合中科院沈陽(yáng)自動(dòng)化所、上海集成電路研發(fā)中心有限公司等實(shí)力雄厚的研究院所、企業(yè)進(jìn)行技術(shù)攻關(guān)，重點(diǎn)攻克在潔凈系統(tǒng)設(shè)計(jì)及優(yōu)化技術(shù)、無(wú)接觸供電技術(shù)、氣流分析技術(shù)、系統(tǒng)可靠性技術(shù)、物流調(diào)度分析等共性關(guān)鍵技術(shù)，完成了物料控制系統(tǒng)軟件、潔凈天車(chē)、天井式搬運(yùn)車(chē)、潔凈立庫(kù)、潔凈有軌制導(dǎo)車(chē)輛及外接晶片裝載設(shè)備等核心設(shè)備的開(kāi)發(fā)，并在上海集成電路研發(fā)中心有限公司完成了自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)的示范應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)了潔凈物料傳輸系統(tǒng)裝備的國(guó)產(chǎn)化，項(xiàng)目合同期內(nèi)完成了自動(dòng)物料搬運(yùn)生產(chǎn)線5條，實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售收入1.44億元。

該系統(tǒng)的研制成功不僅打破了國(guó)外集成電路裝備企業(yè)在國(guó)內(nèi)的壟斷地位，降低了晶圓制造企業(yè)生產(chǎn)成本，同時(shí)推動(dòng)了我國(guó)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，并帶動(dòng)整個(gè)裝備制造的產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，加速我國(guó)裝備制造業(yè)的轉(zhuǎn)型升級(jí)。

據(jù)悉，該項(xiàng)目資金總額為12,726萬(wàn)元，按照中央：地方：企業(yè)＝1:1:1的要求，中央投入4,242萬(wàn)元，地方配套資金4,242萬(wàn)元，新松公司使用自籌資金4,242萬(wàn)元。

下一步，新松公司將在三期產(chǎn)業(yè)園，新建超過(guò)6000平方米的潔凈車(chē)間，用于自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)及其核心設(shè)備產(chǎn)品研發(fā)、測(cè)試和驗(yàn)證，進(jìn)一步提高潔凈產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化能力。