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GB/T 30868-2014碳化硅單晶片微管密度的測定　化學腐蝕法

中文名稱：碳化硅單晶片微管密度的測定　化學腐蝕法

英文名稱：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers—Chemically etching

標準號：GB/T 30868-2014

標準類型CN

發布日期：2014-7-24

實施日期：2015-2-1

摘要：

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