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中文名稱：碳化硅單晶片厚度和總厚度變化測試方法

英文名稱：Test method for measuring thickness and total thickness variation of monocrystalline silicon carbide wafers

標準號：GB/T 30867-2014

標準類型CN

發布日期：2014-7-24

實施日期：2015-2-1

摘要：

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