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GB/T 30652-2014硅外延用三氯氫硅

中文名稱:硅外延用三氯氫硅

英文名稱:Trichlorosilane for silicon epitaxial

標準號:GB/T 30652-2014

標準類型CN

發(fā)布日期:2014-12-31

實施日期:2015-9-1

摘要:

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