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GB/T 30652-2014硅外延用三氯氫硅

來源：標準在線網

中文名稱：硅外延用三氯氫硅

英文名稱：Trichlorosilane for silicon epitaxial

標準號：GB/T 30652-2014

標準類型CN

發(fā)布日期：2014-12-31

實施日期：2015-9-1

摘要：

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GB/T 30652-2014硅外延用三氯氫硅