GB/T 19922-2005硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
中文名稱：硅片局部平整度非接觸式標準測試方法
英文名稱：Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning
標準號：GB/T 19922-2005
標準類型CN
發布日期：2005-9-19
實施日期：2006-4-1
摘要： 本標準規定了用電容位移傳感法測定硅片表面局部平整度的方法。
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