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GB/T 19921-2005硅拋光片表面顆粒測試方法

中文名稱：硅拋光片表面顆粒測試方法

英文名稱：Test method of particles on silicon wafer surfaces

標準號：GB/T 19921-2005

標準類型CN

發(fā)布日期：2005-9-19

實施日期：2006-4-1

摘要： 本標準規(guī)定了應用掃描表面檢查系統(tǒng)對硅拋光片表面顆粒進行測試，計數(shù)和報告的程序。

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