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GB/T 29190-2012掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法

中文名稱:掃描探針顯微鏡漂移速率測量方法

英文名稱:Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

標準號:GB/T 29190-2012

標準類型CN

發布日期:2012-12-31

實施日期:2013-6-1

摘要:本標準規定了SPM漂移速率的術語和定義、縮略語、測量步驟、性能參數規格,及基于SPM掃描圖像的漂移速率測量基本辦法。

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