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中文名稱：硅拋光片表面質量目測檢驗方法

英文名稱：Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection

標準號：GB/T 6624-2009

標準類型CN

發布日期：2009-10-30

實施日期：2010-6-1

摘要：本標準規定了在一定光照條件下，用目測檢驗單晶拋光片（以下簡稱拋光片）表面質量的方法。 本標準適用于硅拋光片表面質量檢驗。外延片表面質量目測檢驗也可參考本方法進行。

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